1月22日消息,據復旦大學公眾號介紹,復旦大學彭慧勝/陳培寧團隊成功在柔軟的高分子纖維內構建大規模集成電路,造出世界首款“纖維芯片”。
實現電阻、電容、二極管、晶體管等電子元件的高精度互連,光刻精度達到實驗室級光刻機最高水平。
圖源:《基于多層旋疊架構的纖維集成電路》
打破了傳統硅基芯片范式,為腦機接口、電子織物、虛擬現實等新興產業提供核心技術支撐,標志著我國在柔性電子領域躋身全球領先行列。
目前其研究成果—《基于多層旋疊架構的纖維集成電路》,已經發表在了國際頂級學術期刊《自然》主刊上。
傳統芯片的光刻工藝高度依賴平整硅晶圓襯底。纖維固有的曲面結構、極小表面積,以及彈性高分子基底難以耐受光刻極性溶劑的特性,再加上需在拉伸、扭轉等形變中保持電路穩定。
因此一直是柔性集成電路研發的“卡脖子難題”。

圖源:《基于多層旋疊架構的纖維集成電路》
而復旦大跳出了“僅利用纖維表面”的慣性思維,創新性提出多層旋疊架構設計思路——在纖維內部構建螺旋式多層集成電路,最大化挖掘內部空間潛力。
通過5年的集中攻關,團隊先后攻克高分子表面平整化、耐溶劑侵蝕、形變下電路穩定三大核心技術,通過等離子刻蝕技術將高分子表面粗糙度降至1納米以下,搭配致密聚合物保護膜為電路“護航”,最終實現電阻、電容、二極管、晶體管等電子元件的高精度互連,光刻精度達到實驗室級光刻機最高水平。
圖源:《基于多層旋疊架構的纖維集成電路》
在性能層面,它打破空間局限,按實驗室1微米光刻精度推算,1毫米長度可集成數萬個晶體管,信息處理能力比肩醫療植入式芯片;若擴展至1米,集成晶體管數量有望達百萬級別,媲美經典計算機中央處理器。
在穩定性上,它可承受1毫米半徑彎曲、20%拉伸形變、180°/厘米扭轉,經水洗、高低溫環境考驗,甚至被十幾噸卡車碾壓后,性能依舊穩定。更關鍵的是,其制備工藝與現有芯片產業成熟光刻工藝兼容,已實現實驗室級規模化制備,可以為后續量產應用奠定基礎。
消息數據來源:《自然》雜志、《基于多層旋疊架構的纖維集成電路》