導讀：據(jù)韓媒Business Korea報道，全球光刻膠巨頭日本TOK（東京應化）公司已開始在韓國生產(chǎn) EUV 光刻膠，有望繞過日本政府對韓出口管制。
來源：東京應化（TOK）
韓國貿(mào)易工業(yè)和能源部7月1日表示，TOK 在致當?shù)匾患颐襟w的信中說，其韓國子公司正在制造 EUV 光刻膠，并可以及時提供該產(chǎn)品。
而自2019年7月起，EUV 光刻膠是日本政府禁止向韓國出口的物品之一。該公司似乎選擇在韓國生產(chǎn) EUV 光刻膠，以繞過日本政府的出口管制。
圖：TOK 的海外工廠
據(jù)報道，三星電子正在對位于仁川的 TOK 工廠生產(chǎn)的 EUV 用光刻膠進行測試，將在其非內(nèi)存生產(chǎn)線中使用光刻膠進行 EUV 工藝制造。報道認為，三星對日本公司在韓國生產(chǎn)的 EUV 光刻膠表現(xiàn)出興趣。
2019年遭遇禁運后，三星曾向另一家光刻膠巨頭 JSR 的比利時子公司尋求產(chǎn)品供應。外界普遍認為，韓國半導體業(yè)在短期內(nèi)很難解決高端半導體材料的國產(chǎn)化難題。
JSR（東京合成橡膠）、TOK（東京應化）和Shin-Etsu（信越化學）三家企業(yè)是全球主要的半導體化學材料供應商，包含三家在內(nèi)的日本企業(yè)占據(jù)全球光刻膠市場份額超過70%，在高端的 ArF 和 EUV 光刻膠領域市場占有率則超過90%。
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